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根據《經濟日報》報導，台積電廠務處長莊子壽會後表示，5奈米製程還在發展中，台積5奈米製程是未來二至三年計畫，占地約40公頃，投資額幾千億元，待台積董事會通過後就會啟動。
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據報導，李育明進一步指出，台積電在專案小組第三次會議延續會議上說明，5奈米製程晶圓，在使用階段的用電量，是現有25奈米製程的10%，且台積電承諾，汙染總量及廢水量會減少。
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台積電南科廠目前主力製程為16奈米，後續10奈米和7奈米生產重心放在
女生生日禮物驚喜南投生日禮物客製化中科，但接續5奈米製程將由南科廠擔綱。
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昨日環評大會決議，南科管理局須在今年6月30日前成立監督小組，11名成員中，將有三至四名成員由當地居民及民間團體推薦代表擔任。
據報導，環評委員李育明表示，南科環差案自2014年底送進來，歷經兩年審查，因製程更新致用水用電量將會增加，且針對危險物質
，依法規不必做風險評估，但開發單位仍自主性進行風險評估。
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▲環保署環評大會昨（18）日通過攸關台積5奈米先進製程布局的南科環境差異影響評估案。（圖／台灣護樹團體聯盟提供）
台積電5奈米的環評通過！環保署環評大會昨（18）日通過南科環境差異影響評估案，，此案通過讓台積5奈米製程基地有著落了，最快將在今年動工，目標在2020年量產。
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